電拋光不銹鋼管應用于高純系統

3.10 電拋光管道系統

3.10.1  凡管道數據表中說明管道和管件的內表面做“電拋光處理”，則管道、管件應 滿足下列要求：

3.10.2 電拋光不銹鋼管應用于高純系統。在管焊接完成后，現場安裝前，按下列電 拋光要點進行。

3.10.2.1 整個電拋光操作中，短管應盡量避免接觸到油污、鐵基材料。

3.10.2.2 化學品：化學品應符合 SEMI 標準或者低游離離子級

3.10.2.3 按照 15060 節的要求，使用純氮氣對管道進行干燥。

3.10.2.4 水：按照 15060 節的要求，使用純水對管道進行清洗。

3.10.2.5 無磷清洗劑：Triton X100, Micro, 或者 Amway LOC。

3.10.3 檢查每根管段的粗糙度、管口受損、變形、裂縫或者其它瑕疵。拒收不合格 材料。

3.10.4  檢查管道內表面的表面處理是否均勻、潔凈。隨機抽查。拒收不合格材料。

3.10.5 使用水性除油劑或者無磷清潔劑溶液（用純水，清潔劑濃度 0.01%）對管段 和管件進行除油。

3.10.6  用水漂洗管道，直到漂洗進出口水電導率相同。

3.10.7  用異丙醇試劑擦拭管道、管件的外表面上的墨跡和污斑。

3.10.8  管道內表面和法蘭表面的電拋光應滿足下列標準：

3.10.8.1 氧化鉻對氧化鐵的低比例為 1.8：1。

3.10.8.2 鉻對鐵的低比例為 1.3：1。

3.10.8.3 表面粗糙程度大為 1.25μmRa。

3.10.8.4 浸潤的任何表面沒有明顯變色或者銹跡。

3.10.8.5  采用硝酸鈍化的管道配件表面使用純水漂洗，直至進出口水的電導率 相同。

3.10.9  用純氮氣干燥管道內表面。

3.10.10 用肉眼檢查管道的內表面，看是否有污染、變色等不符合要求的情況。發現 問題并經過再次清洗的管道如果還不能滿足要求，在管道上打上“不合格”的標記。 3.10.11 每周采用試板檢查氧化鉻對氧化鐵的比例、鉻與鐵的比例以及表面粗糙度， 鑒定電拋光工藝是否符合要求。

3.10.12 裝運輸前，用帶有螺栓和密封墊片的盲法蘭將管口封堵。用異丙醇試劑擦拭 密封墊片。

3.10.13 在包裝的外面打上“已經電拋光”的標記。

3.10.14 進行電拋光前，管道和管件的接頭應進行焊接，不能在現場焊接。需現場焊 接的部位應在送審圖紙上表示出來，并且要經工程師的特別審核�，F場焊接位置應 有操作空間，將鈍化溶液涂刷到管道上進行鈍化處理。鈍化完成之后，用浸潤純水 的潔凈室專用抹布擦拭掉殘留的鈍化溶液。盡量避免那些不能進行鈍化的焊接接 頭，如果工程師沒有特別要求的話，改用法蘭連接。

表 1

90 度支管加強圈表

注：1  加強圈的厚度應與管道壁厚相同。寬度（W）是指從支管外徑到加強圈外 徑的長度（沿支管半徑方向）

2  見數據表中本表的適用范圍。

3  應遵守 ASME B31.3 和 3.4.3 節的要求。

4 T＝三通；RT＝變徑三通（或者是標準三通加上變徑管）；SO＝承插接頭。